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手持泵吸式半導體材料氣體檢測器XPS-7Ⅱ
檢測對象
毒氣/半導體(ti)材(cai)料氣體(ti)
檢(jian)測范圍
根(gen)據規格而(er)定
檢測(ce)原(yuan)理(li)
定電位(wei)電解式
檢(jian)測方式(shi)
自動吸引式
應(ying)用行(xing)業
石油化工、半導(dao)體(ti)制造
01.便攜式氣體檢測器(qi)產品特點(dian)
只需要更換傳感器(qi)單元(yuan)就可以檢測(ce)各種對象氣體(ti)
用(yong)盒式傳感器(qi)單(dan)元無需進行氣體(ti)檢測器(qi)校正(zheng)
可以大幅度削減成本(ben)和維(wei)護(hu)時間
02.便攜式氣(qi)體檢(jian)測器產(chan)品用途
半導體工廠/石油化學工廠等
在使用半導體材料氣(qi)體/毒性氣(qi)體的(de)現場(chang)進行泄漏(lou)檢測
03.對象氣體(ti)
04.手持泵吸式半導體材料氣體檢測器XPS-7Ⅱ產品參數
在(zai)半導(dao)體(ti)工藝(yi)制程中(zhong),需要(yao)使用多(duo)種特殊氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)、大量(liang)的酸、堿等化學品以及有(you)機溶劑和揮發(fa)性(xing)液體(ti),這(zhe)些氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)和化學品在(zai)半導(dao)體(ti)制造的不同工藝(yi)中(zhong)使用會(hui)產(chan)生廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)。半導(dao)體(ti)企業廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)一(yi)般分為酸性(xing)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、堿性(xing)排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、有(you)機廢氣(qi)(qi)(qi)(qi)、砷排(pai)和一(yi)般排(pai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)等。
導體行業廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)主(zhu)要為有機(ji)廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)和酸(suan)(suan)堿廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)兩類(lei)。有機(ji)類(lei)有:非甲烷總烴、氮氧化物(wu)、二氧化硫(liu)(liu)等(deng);酸(suan)(suan)堿類(lei)有:氨氣(qi)(qi)(qi)、硫(liu)(liu)酸(suan)(suan)霧、氟化物(wu)、氯(lv)化物(wu)、氯(lv)氣(qi)(qi)(qi)等(deng)。在半導體行業中造成(cheng)環境污染的有害氣(qi)(qi)(qi)體,主(zhu)要來源(yuan)于(yu)芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影(ying)過程(cheng)中。
半導體行業主要是(shi)元器件組裝(zhuang)焊接過(guo)程(cheng)中對大氣的污(wu)染和(he)電路板等器件清洗等表(biao)面(mian)處理過(guo)程(cheng)中因使用(yong)一些化(hua)學藥劑(ji)(如硫酸(suan)、鹽酸(suan)、氟氯化(hua)碳、四氯化(hua)碳、三氯乙烷(wan)及其他有機(ji)(ji)(ji)鹵化(hua)物)揮(hui)發(fa)造成對大氣環境的污(wu)染,以及整(zheng)機(ji)(ji)(ji)裝(zhuang)配(pei)過(guo)程(cheng)中產生的機(ji)(ji)(ji)械噪聲(sheng)和(he)少量(liang)粉(fen)塵也會造成環境污(wu)染,這(zhe)些污(wu)染氣體會造成人群慢性(xing)或急性(xing)中毒。
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